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SRX模塊型高速控制器[過程∕溫度控制器]實(shí)現(xiàn)了1秒40次的超高速反饋控制(采樣周期:0.025秒)。在半導(dǎo)體制造過程中的RTP操作(Rapid Thermal Process:急速加熱處理)和需高速升溫的控制業(yè)中可發(fā)揮其最大效用。具備模塊式溫控器省空間、省配線的特點(diǎn),可實(shí)現(xiàn)整個(gè)裝置的小型化;另外,維護(hù)性能高也是其不容忽視的優(yōu)點(diǎn)。
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